1950年8月1日浙江铁工厂成立（杭氧前身）。

1953年浙江铁工厂更名为杭州通用机器厂。

1957年杭州通用机器厂迁扩建工程启动，东新路厂区开工建设。

1958年杭州通用机器厂更名为杭州制氧机厂。

1961年东新路厂区竣工投产。

1992年兼并杭州船厂。

1993年成立杭州制氧机集团公司。

1995年成立杭州制氧机集团有限公司，被市政府授予杭州市国有资产授权经营资格。

2000年实施分立式改制，杭州制氧机集团有限公司下属专业厂改制成了26家独立法人企业。

2002年实施“债转股”杭州制氧机集团有限公司由生产型企业转型成为资本经营性企业，杭州杭氧资产经营有限公司和中国华融资产公司成为杭州制氧机集团有限公司的两大股东，公司控股的核心企业杭氧科技有限公司改制为杭州杭氧股份有限公司。

2004年杭州杭氧资产经营有限公司向中国华融资产管理公司回购其持有的全部杭州制氧机集团有限公司股权，杭州制氧机集团有限公司成为杭州杭氧资产经营有限公司的独资企业。

2005年杭州杭氧资产经营有限公司与杭州制氧机集团有限公司合并重组，合并重组后的杭州制氧机集团有限公司成为杭州市政府授权经营企业。

2006年12月“杭氧迁扩建工程”启动，杭氧临安制造基地开工建设，制造基地位于临安经济开发区内,占地922亩,总投资为20.4亿元人民币。

2008年杭州制氧机集团有限公司将其持有的12家参、控股企业的股权，以增资方式注入杭州杭氧股份有限公司。
 

2009年8月杭氧临安制造基地竣工投产。

2010年6月10日杭氧股份在深圳证券交易所上市。